| 
Поиск по ключевому слову "магнетронная распылительная система"
Выравнивание потоков материалов в магнетронных распылительных системах
| Авторы: Грешилов В.В. | Опубликовано: 09.10.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #10(15)/2017 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-10-185 | |
| Раздел: Авиационная и ракетно-космическая техника | Рубрика: Динамика, баллистика, управление движением летательных аппаратов | |
| Ключевые слова: магнетронная распылительная система, тонкие пленки, маскирующие профили | |
Верификация результатов расчета магнитных полей в магнетронной распылительной системе
| Авторы: Титушкин А.В. | Опубликовано: 28.06.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #7(12)/2017 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-7-132 | |
| Раздел: Информатика, вычислительная техника и управление | Рубрика: Системный анализ, управление и обработка информации, статистика | |
| Ключевые слова: магнетронная распылительная система, ионное распыление, магнетрон, тонкопленочные покрытия, численные методы моделирования магнитного поля, топология магнитного поля, оптимизация конфигурации магнитного поля | |