| 
Поиск по ключевому слову "тонкие пленки"
Получение тонких алмазоподобных пленок методом импульсного лазерного осаждения и исследование их свойств
| Авторы: Кривошеев А.В., Пономаренко С.Л. | Опубликовано: 05.06.2018 |
| Опубликовано в выпуске: #6(23)/2018 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2018-6-324 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки | |
| Ключевые слова: алмазоподобные пленки, тонкие пленки, импульсное лазерное осаждение, вакуумное напыление, лазерная абляция, эксимерный лазер, эллипсометрия, толщина тонких пленок | |
Контроль сопротивления тонкопленочного покрытия в режиме реального времени
| Авторы: Федюнин А.П. | Опубликовано: 30.10.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #11(16)/2017 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-11-203 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника | |
| Ключевые слова: контроль сопротивления, элионные технологии, магнетронное распыление, термическое испарение, тонкие пленки, технологическая установка, аналого-цифровой преобразователь, островковые наноразмерные структуры | |
Выравнивание потоков материалов в магнетронных распылительных системах
| Авторы: Грешилов В.В. | Опубликовано: 09.10.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #10(15)/2017 | |
| DOI: 10.18698/2541-8009-2017-10-185 | |
| Раздел: Авиационная и ракетно-космическая техника | Рубрика: Динамика, баллистика, управление движением летательных аппаратов | |
| Ключевые слова: магнетронная распылительная система, тонкие пленки, маскирующие профили | |