Контроль сопротивления тонкопленочного покрытия в режиме реального времени

Авторы: Федюнин А.П.
Опубликовано в выпуске: #11(16)/2017
DOI: 10.18698/2541-8009-2017-11-203
Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника
Ключевые слова: контроль сопротивления, элионные технологии, магнетронное распыление, термическое испарение, тонкие пленки, технологическая установка, аналого-цифровой преобразователь, островковые наноразмерные структуры
Опубликовано: 30.10.2017

Одной из приоритетных задач при контроле технологического процесса по формированию тонкопленочного покрытия является его остановка при достижении заданного электрического сопротивления пленки. Рассмотрен контроль толщины проводящего покрытия через его электрическое сопротивление. По данному методу контроля предложена электрическая измерительная система, которая ориентирована на получение островковых наноразмерных структур и встраивается в подложкодержатель внутрикамерной оснастки. Проведены эксперименты по измерению текущего сопротивления тонкой пленки в процессе магнетронного распыления.

Литература

[1] Сидорова С.В., Юрченко П.И. Формирование островковых наноструктур в вакууме. Наука и образование. Научное издание, 2011, № 10. URL: http://old.technomag.edu.ru/doc/259672.html.

[2] Булан Д.И. Сравнительный анализ и методы измерения толщины оптического покрытия в процессе нанесения. Материалы X Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ. URL: https://rep.bntu.by/bitstream/handle/data/10167/%D0%A1.%20103-04.pdf?sequence=1&isAllowed=y (дата обращения 30.06.2017).

[3] Бхушан Б., ред. Справочник Шпрингера по нанотехнологиям. В 3 т. Т. 1. Москва, Техносфера, 2010, 590 с.

[4] Маркелов Г.Е. Регрессионные модели. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 1 электрон. опт. диск (CD-R). ФГУП «Информрегистр» № 0321000570.